洁净室的广泛使用，对于洁净室过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多，进行过滤器的安装现场检漏，还有许多问题需要探讨。
1、过滤器现场检漏目的和原理
过滤器现场安装以后检漏是确认过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果过滤器装置经检漏是合格的，以确保洁净室的安靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。
过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试，而前者涉及过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。
过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在洁净室风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的洁净室或更换终端过滤器后均应作检漏测试。
检漏时，从过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
2、过滤器上游气溶胶
将冷发雾方法产生的多分散相气溶胶引入过滤器的上风侧空气中。使其达到需要的气溶胶浓度。规范上要求以大于或等于0.5μm的微粒为准。气溶胶的材料有DOP（邻苯二甲酸二辛酯）、PAO（聚乙烯烃）、DOS（葵二酸二辛酯）等，这些气溶胶的检漏原理是一样的。
规范上要求过滤器上风侧的微粒浓度（≥0.5μm）必须大于或等于3.5×104粒子/L。事实上，在空调器内发尘，过滤器上风侧的浓度较难达到要求，必须导入足够数量的气溶胶，且长时间地发尘将会影响过滤器的使用寿命。所以，过滤器的检漏，在过滤器送风口的静压箱内发尘为，不具备条件的，也以考虑在送风管上导入DOP的气溶胶。
3、等速采样
在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。
采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。
如果系统风量不大，DOP发尘直接送入风管。如果DOP发尘的量不够，达不到预计的浓度要求，将DOP直接发入送风口的静压箱。需要指出的是，上游的气溶胶浓度需要检测。如果稳后，对每个过滤器进行泄漏检测。如果上游的气溶胶浓度太高，粒子计数器无法检测，通过稀释的方法来进行测量。
在检测中，如果室内干扰因素太多，为排除干扰，在风口出口加隔离罩，在罩内进行检测，这样检测的数据较为准确。
尤其要注意的是，在过滤器和安装框架之间的检漏，以沿安装框架检漏，也以送风口箱体断面上检漏，但要排除卷吸气流的干扰，要避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样口不能接触风口箱体或过滤器的框架。
在过滤器上风侧发DOP检漏时，在过滤器的上风侧必须设有DOP的导入装置及浓度检测管。这两个管子也以用来检测过滤器的阻力。
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