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颗粒计数器的校正原理和方法


发布日期:[2017-11-14] 共阅[1622]次

颗粒计数器的校正原理和方法

校正的基本原理:

标准粒子通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。 

校正的基本步骤:

现假设对一台常见的Royco HH200作校正

1先,要清楚Royco 323和HH200A有何差别,其测试原理一样,但Royco 323流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Royco HH200则为0.1CFM。

2将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Royco 323和Royco HH200,让其预热半小时。

3准备好255的取样器管,并搭接好其所有气体管路。

4将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。

5设置Royco323和Royco HH200的基本参数

(1)取样时间都设置为00:01:00

(2)取样次数都设置03

(3)取样模式都设置为Auto

(4)间隔时间都设置为00:00:05

(5)读数模式都设置为Cumulative

注:以上设置相同,因其流速有10倍差,故Royco323测试结果会是Royco HH200的10倍。

6打开255电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约60SCFH时后,保持其工作状态。

7让Royco 323和Royco HH200同时工作,看其三次的平均结果,若在20%以内,视为合格。

8拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。

9以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。

 

 
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