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SiO2标准粒子

简要描述:SiO2标准粒子:
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2颗粒的浓缩水悬浮液,具有高度均匀的尺寸分布。
这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 至 200 nm,非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-08-08
  • 访  问  量:98

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详细介绍

SiO2标准粒子

Nanosilica-with-particle-sample.jpg

SiO2标准粒子

纳米二氧化硅尺寸标准

MSP Corporation NanoSilica™Size Standards SiO2颗粒的浓缩水悬浮液,具有高度均匀的尺寸分布。

这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 200 nm,非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。

虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了最佳结果,但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。

特征

+ 极其均匀的尺寸分布

我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得** SiO2合成工艺开发,其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。

+ 使用 SI 可追溯性测量的峰直径

允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的可追溯性。

+ 受到强烈 DUV 辐射时稳定

MSP SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解,这与 PSL 球体不同,PSL 球体的尺寸会减小。

+ 易于使用

NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供,以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。

+ 高粒子浓度

一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内最高的之一。

+ 轻松辨别模态(峰值)直径

+ 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异

+ 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液

+ 为***的检测工具创建持久的校准标准

+ 消耗更少的材料;存钱

+ 随附校准和可追溯性证书以及带有处理和处置说明的安全数据表 (SDS)

型号

目录编号

标称粒径 [nm]

认证1峰值直径 [nm]

大约

Size Dist. Width, RFWHM2

1044

NS-0015A

15

14-16

13%

1046

NS-0018A

18

17-19

12%

1047

NS-0020A

20

19-21

11%

1048

NS-0024A

24

23-25

10%

1075

NS-0027A

27

26-28

9%

1049

NS-0030A

30

29-31

8%

1079

NS-0032A

32

31-33

7%

1062

NS-0035A

35

34-36

7%

1076

NS-0037A

37

36-38

6%

1051

NS-0040A

40

39-41

6%

1063

NS-0045A

45

44-46

5%

1052

NS-0050A

50

49-51

5%

1077

NS-0055A

55

53-57

5%

1053

NS-0060A

60

58-62

4%

1067

NS-0064A

64

62-66

4%

1054

NS-0070A

70

68-72

4%

1068

NS-0074A

74

72-76

4%

1055

NS-0080A

80

78-82

4%

1069

NS-0084A

84

82-86

4%

1057

NS-0090A

90

88-92

4%

1070

NS-0094A

94

92-96

4%

1058

NS-0100A

100

98-102

4%

1071

NS-0104A

104

102-106

4%

1059

NS-0125A

125

120-130

4%

1060

NS-0150A

150

145-155

4%

1061

NS-0200A

200

190-210

4%

1给定目录号的认证直径将在规定范围内提供。

2相对半高宽(半高全宽); FWHM 除以模态直径。

规格

粒子组成

无定形SiO2

粒子密度

1.9 /3

折射率

633纳米时为1.41

体积

5

专注

每毫升 1013 1015颗粒

截止日期

≥ 24

添加剂

乙醇(按质量计 5-20%

有机稳定剂(<0.1% 质量

储存和处理

在室温下储存(参见校准和可追溯性证书

更多详情。

1659872104127.png


NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液,微粒子尺寸从18nm200nm都可选择,是市面上***、高质量的校正标准,适用于最新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。

***的半导体检查技术已经发展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正,但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷,当UV光重复打在PSL球形化粒子上,将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUVEUV的照射下拥有稳定的质量,因此SiO2微粒子是最佳的替代产品。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有**SiO2合成技术,可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布,从目前最小的微粒子尺寸来看,NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸最均匀,适合做尺寸大小峰值的量测的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品,加上ISO 9000SEMI的认证,让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定,让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限,而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。

产品优势
尺寸大小分布均匀
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUVEUV的照射下拥有稳定的质量
高浓缩度微粒子悬浮溶液

产品效益
易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
适合气胶产生设备使用
提供耐久校正标准给先进的检测设备使用
省钱而且耗用量少



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