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晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液

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晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液:
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晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液

供应商:上海瑞贝贸易有限公司

产品名称:

SiO2微粒子标准溶液

纳米级别二氧化硅

SiO2标准粒子

晶圆表面用二氧化硅

 

    NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液,微粒子尺寸从18nm到200nm都选择,是市面上理想、质量较高的校正标准,适用于新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。

     先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正,但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷,当UV光重复打在PSL球形化粒子上,将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳的质量,因此SiO2微粒子是较好的替代产品。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有 的SiO2合成技术,以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布,从目前小的微粒子尺寸来看,NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸均匀,适合做尺寸大小峰值的量测的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品,加上ISO 9000与SEMI的认证,让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴,让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限,而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。

产品优势
•尺寸大小分布均匀
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下拥有稳的质量
•高浓缩度微粒子悬浮溶液
 
产品效益
•易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
•避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
•适合气胶产生设备使用
•提供耐久校正标准给先*进的检测设备使用
•省钱而且耗用量少


 

产品相关关键字: 纳米级别 美国标准粒子 二氧化硅微粒子标液
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